반도체 제조 공정에서는 다양한 화학 물질과 함께 초순수가 사용되며, 이로 인해 공정 중 발생하는 폐수에는 화학 물질, 미립자, 금속 이온 등이 포함됩니다.
반도체 공정에서의 폐수 라인은 반도체 제조 과정에서 발생하는 오염된 물을 처리하고 재활용하거나 안전하게 배출하기 위한 시스템입니다. 반도체 제조는 화학 약품, 물, 공정 중 발생하는 오염물질 등을 많이 사용하기 때문에, 발생하는 폐수 역시 정밀하게 관리해야 합니다.

반도체 공정의 폐수 라인에서는 높은 청정도와 화학적 안정성이 요구 되고 다양한 화학 물질을 포함하고 있을 수 있기 때문에, 버터플라이 밸브는 화학적 내성이 있는 소재 PTFE(테프론)로 제작되어야 합니다.

이러한 재질은 산, 염기, 유기 용매 등 다양한 화학 물질에 내성을 가지며 부식이나 침식에 강합니다.
(유량제어 및 차단, 화학적 안정성, 부식방지)

정도기계의 PTFE Seated(lined) 버터플라이 밸브는 반도체 공정의 폐수 라인에서 폐수의 흐름을 정밀하게 제어하고, 화학적 손상으로부터 시스템을 보호하며, 전동 액추에이터나 공압 액추에이터를 적용하여 자동화된 공정에 필수적인 역할을 수행합니다.