DI Water(탈이온수, Deionized Water)는 이온 교환 과정을 통해 물 속에 존재하는 양이온(칼슘, 나트륨 등)과 음이온(염소, 황산염 등)을 제거한 물입니다. 이 과정은 물 속의 미네랄과 염류를 효과적으로 제거하지만, 일부 미생물, 유기물, 입자와 같은 오염물은 여전히 남아 있을 수 있습니다. 일반적으로 DI Water의 저항률은 1-18 MΩ·cm로 측정되며, 주로 산업용, 연구실, 일반 세척 및 청소 용도에서 사용됩니다. 순도는 초순수보다는 낮지만, 전도성이 낮아 전기 및 전자 공정에도 적합합니다.

초순수(超純水, Ultrapure Water, UPW)는 DI Water보다 더욱 엄격한 정화 과정을 거쳐 모든 형태의 불순물(이온, 유기물, 미생물, 입자)을 거의 완벽하게 제거한 물입니다. 초순수는 반도체, 제약, 나노기술 등 초고순도가 요구되는 환경에서 사용되며, 물 속의 불순물과 오염물질이 거의 없는 가장 순수한 형태의 물입니다.
반도체 제조 공정에서는 미세한 전자 회로가 설계된 웨이퍼에서 작은 불순물 하나만으로도 결함이 발생할 수 있습니다. 따라서, 웨이퍼 세척, 불순물 최소화, 공정의 정밀도, 화학적 반응의 안정성, 정전기 방지, CMP 공정 후 정밀한 패턴 형성 등에서 초순수는 필수적인 재료입니다. 이는 제품의 품질과 성능을 보장하는 데 중요한 역할을 합니다.

정도기계의 Oil Free 버터플라이 밸브는 초순수 라인에 최적화된 제품으로, 특히 반도체 제조 공정의 엄격한 요구 사항을 충족시킵니다. 이 제품은 조립 전 각 파트를 IPA 세정액으로 1차 세정하고, 조립 후 2차 세정을 실시합니다. 이를 통해 미세 오염물질의 잔류를 최소화합니다.

또한, 백광(White Light)을 사용해 파티클 검사를 실시하여, 미세 입자까지 철저히 관리합니다. 이 모든 공정은 별도의 클린룸 환경에서 이루어지며, 철저한 품질관리를 통해 초순수 환경에서도 안정적인 성능을 보장합니다.

정도기계의 Oil Free 버터플라이 밸브는 오염과 이물질 유입을 방지하고, 유체의 순도 유지에 탁월한 성능을 발휘합니다. 이러한 특성 덕분에, 반도체 및 고순도 공정에서 신뢰받는 선택으로 자리 잡고 있습니다.